新しいガラスマイクロの探求

2022年12月29日

国際エクストリーム・マニュファクチャリング・ジャーナルによる

フランスのボルドー大学の高強度レーザー応用研究所 (CELIA) のレーザーと物質の相互作用の研究グループは、GHz バースト モードのフェムト秒レーザーを使用した新しいガラスのマイクロドリリング方法を研究しました。

International Journal of Extreme Manufacturing 誌に発表された研究チームは、GHz バースト領域で動作する Amplitude のフェムト秒レーザーを使用して、亀裂のない滑らかな内壁を持つテーパーのない細長い穴の穴あけを可能にする新しいガラス微細加工方法を研究しました。ガラスの中。 通常、標準的な単一フェムト秒パルスを使用したレーザー穴あけ加工では、長さが非常に制限され、内面が粗いテーパー状の穴が形成されます。

この新しいレーザーと物質の相互作用領域により、化学エッチングを行わずに、単一ステップで高アスペクト比の穴を直接ドリル加工することが可能になります。 機械加工された構造の優れた微細加工品質を達成するには、レーザーバーストパラメータの選択が非常に重要であることが明らかになりました。 フェムト秒レーザーの GHz バースト モードは、シリコン インターポーザーがガラス インターポーザーに置き換えられる可能性が高いマイクロエレクトロニクスなどの新しいアプリケーションへの道を開く可能性があります。

詳しくは： Pierre Balage et al、赤外線フェムト秒レーザー GHz バーストによるトップダウンパーカッションドリリングによるガラスの亀裂のない高アスペクト比の穴、International Journal of Extreme Manufacturing (2022)。 DOI: 10.1088/2631-7990/acaa14